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钛膜吸氢与释氢特性的研究
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摘要
在SKL-12型多功能谱仪的预处理室中,采用超高真空镀膜的方法,得到了表面清洁的钛膜。对表面清洁及表面一定量氧污染的钛膜进行了吸氢,释氢实验,并用理论模型拟合实验数据。结果表明:表面氧污染使钛膜吸氢能力降低,其原因在于氧原子占据了钛膜表面的吸附位置,使H2解离为原子的几率降低。
作者
牟方明
张勇
机构地区
中国工程物理研究院核物理与化学研究所
复旦大学真空物理实验室
出处
《四川真空》
1996年第1期6-12,共7页
关键词
吸氢
释氢
污染
真空镀膜
钛膜
薄膜
分类号
O484 [理学—固体物理]
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