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钛膜吸氢与释氢特性的研究

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摘要 在SKL-12型多功能谱仪的预处理室中,采用超高真空镀膜的方法,得到了表面清洁的钛膜。对表面清洁及表面一定量氧污染的钛膜进行了吸氢,释氢实验,并用理论模型拟合实验数据。结果表明:表面氧污染使钛膜吸氢能力降低,其原因在于氧原子占据了钛膜表面的吸附位置,使H2解离为原子的几率降低。
作者 牟方明 张勇
出处 《四川真空》 1996年第1期6-12,共7页
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