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第三讲：机械真空泵（五）被引量：1

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摘要第三讲：机械真空泵（五）张以忱（东北大学）六、分子真空泵（一）牵引分子泵１．概述分子真空泵是在１９１１年由德国人盖德（Ｗ·Ｇａｅｄｅ）首先发明的，并阐述了分子泵的抽气理论，使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。分子泵的抽气机理与容积式机械泵靠泵腔容积...

作者张以忱

机构地区东北大学

出处《真空》 CAS 北大核心 1996年第2期45-50,共6页 Vacuum

关键词真空泵分子真空泵

分类号 TB752.27 [一般工业技术—真空技术]

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真空

1996年第2期

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