固态MO源流量不稳定的原因分析和改进方法

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摘要分析了固态ＭＯ源流量不稳定的原因，并设计一种新式ＭＯ源瓶．试验结果表明，固态ＭＯ源充装在新式瓶内，可以保证在外延过程中，ＭＯ源流量稳定和连续供应．

作者安华

机构地区化工部光明化工研究所

出处《低温与特气》 CAS 1996年第1期10-13,共4页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词 MO源三甲基铟金属有机化合物半导体

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低温与特气

1996年第1期

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