二氯二氢硅的纯化被引量：3

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摘要采用化学改性的吸附剂和络合剂，能够有效地除去气体中的金属和硼、砷、磷等非金属杂质．纯化后的气体经气相色谱分析，表明化学改住的吸附剂和络合剂对二氯二氢硅无歧化作用．

作者孙福楠冯庆祥陈国忠

机构地区化工部光明化工研究所

出处《低温与特气》 CAS 1996年第1期53-56,共4页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词二氯二氢硅吸附剂络合剂纯化

同被引文献4

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低温与特气

1996年第1期

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