诺发推出GAMMA EXPRESS

诺发系统有限公司近日为300mm晶圆工艺推出光刻胶干法去除系统中的新产品GAMMA Express。GAMMA Express是同时适用于前段（FEOL）和后段（BEOL）工艺的单一产品平台，它为65nm和45m节点普通光刻胶去除和高剂量离子注入光刻胶去除（HDIS）提供了最高水平的技术、可靠性和生产力。