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高精度激光三角法位移测量被测表面倾斜影响研究
被引量:
24
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摘要
在高精度激光三角法位移测量中,被测表面的倾斜对测量准确度有很大影响。本文介绍利用光散射的基本原理研究光电接收器接收面上象光斑的光能质心偏移与倾斜角及位移量之间的定量关系,给出了计算机模拟及实验结果,探讨了减少或消除被测表面倾斜影响的方法。
作者
庄葆华
王少清
张吉华
蒋诚志
张文伟
机构地区
天津大学精仪系
山东建材工程学院
出处
《计量技术》
1996年第2期2-4,共3页
Measurement Technique
基金
国家自然科学基金
关键词
激光
三角法位移测量
表面倾斜
分类号
TG806 [金属学及工艺—公差测量技术]
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