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光栅莫尔条纹信号的零位跟踪细分被引量：1

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摘要本文介绍了采用片簧机构实现莫尔条纹零位跟踪的测量方法，可以实现高分辨力的大位移测量。实验所用光栅栅距为０．６２ｍｍ，读数误差小于±０．０４μｍ，相当于实现了５００细分。

作者李金泉

机构地区天津理工学院

出处《计量技术》 1996年第1期4-6,共3页 Measurement Technique

关键词光栅莫尔条纹零位跟踪光学仪器

分类号 TH74 [机械工程—光学工程]

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计量技术

1996年第1期

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