激光微细加工装置及其应用被引量：1

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摘要本文介绍日本浜松光子公司研制的加工分辨率为1μm的C4540型激光微型加工装置的结构、特点、加工原理及其应用实例.研制背景因为准分子激光器在0.193μm至0.351μm波长的紫外光波段范围振荡,所以从原理上讲可以小于0.

作者高晓萍

出处《光机电信息》 1996年第12期26-30,共5页 OME Information

关键词激光微细加工装置应用

引证文献1

1崔建丰,赵晶,樊仲维,赵存华,张晶,牛岗,石朝晖,裴博,张国新,薛岩,毕勇,亓岩.厚硅片的高速激光切片研究[J].光学精密工程,2006,14(5):829-834. 被引量：10
2李呈德,万盈,陈涛,左铁钏.准分子激光投影直刻微加工制作微机械[J].中国科学（E辑）,2001,31(1):13-18. 被引量：11

光机电信息

1996年第12期

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