古稀创业刻出精彩人生——访北京创威纳科技有限公司董事长、半导体工艺专家韩阶平研究员

2000年,韩阶平68岁,这个绝大多数老人在家颐养天年的年龄,韩阶平却以四十多年的经验投身到微细加工设备研制及相关工艺研究中,开始了人生另一次创业。此后的6年,韩阶平度过了一个别样的晚年：率领北京创威纳科技有限公司完成了微细加工手动、全自动设备和带Load- Lock功能的全自动化设备研制和生产,在工艺研发上,将核心的蚀刻技术做到了国内领先,接近国际先进水平。为我国微细加工设备国产化、微细加工工艺先进化做出了重大贡献。同时也为自己画出了一条与众不同的人生曲线。韩阶平大学毕业后分配至中国科学院工作,有幸进入了中国科学院院士、半导体器件物理专家王守武先生一手建立起来的化学组工作,化学组的主要工作是进行微细加工设备的研制和工艺的研发。从“六五”期间她就开始了刻蚀工艺的研究,在国家的支持下,一直做到“九五”期间。