等离子体化学气相沉积 TiN 室温摩擦机理研究

本文用等离子化学气相沉积法在GCr15钢基体上沉积TiN进行了室温耐磨性研究。结果表明:涂层复合材料具有低的摩擦系数,使得耐磨性提高。本文还从微观分析讨论了涂层的磨损机理,表明涂层失效是在切应力作用下引起微凸处的粒子剥离而使其附近受力,并在表面处产生裂纹,此裂纹沿“岛状”界面及粒子边界扩展而使之剥离。