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圆柱面径向微小尺寸测量用特殊平行板电容传感器讨论

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摘要用平行板电容传感器测量微小尺寸可获得高精度、好的动态特性和易于实现信号转换及后续控制与处理.但用普通平行板电容传感器来测量圆柱面径向微小尺寸则受到精度、量程范围及诸多因素的限制.因此本文着重对一种改进的特殊平行板电容传感器进行分析讨论,并给出非线性修正方法.

作者邓湘郑义忠

机构地区运输工程学院装机室机电一体化实验室天津大学精密仪器工程系

出处《传感器世界》 1996年第9期11-16,共6页 Sensor World

关键词电容传感器测量微小尺寸传感器

分类号 TH821 [机械工程—精密仪器及机械] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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传感器世界

1996年第9期

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