薄膜干涉在检查光学元件表面时应用的分析与探讨

在制造光学元件时,常常需要得到十分精确的平面、球面等,为此我们必须检查元件表面的质量,最简单的方法是用样板检验。我们通过观察干涉条纹的形状来判断被检表面的缺陷,从而进行相应的磨制,最终达到我们的标准要求。