非晶Si_3N_4在ZrN/Si_3N_4多层膜中的赝晶晶化和生长
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2006年第B08期93-94,共2页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50571062)
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