薄膜的截面TEM样品制备被引量：2

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作者林舒孔明戴嘉维李戈扬

机构地区上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第B08期202-203,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基金国家自然科学基金资助项目(No.50571062)

关键词薄膜材料样品制备 TEM 截面透射电子显微分析材料微结构薄膜生长制备方法

同被引文献10

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4李戈扬,许俊华,姚应红,顾明元.纳米多层膜调制结构的成分分析法表征[J].微细加工技术,2001(1):57-61. 被引量：4
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电子显微学报

2006年第B08期

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