室内洁净度的计测技术和动向

利用激光为光源,采用光散射方式的微细粒子计测装置,是室内洁净度计测的有效工具。目前已开发出能够检测直径为0.05μm的超微细粒子的计测装置,本文概要地介绍了其原理、结构和技术动向。