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液体氟里昂(F113)冷却装置在注入机上的应用
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摘要
问题的提出 随着半导体工艺水平的不断发展,集成度的提高以及图形尺寸的缩小,对离子注入机也提出了更高的要求,特别是对束流强度、扫描面积、注人剂量、均匀性、重复性等方面更有新的要求。
作者
费慧芳
机构地区
国营建光机器厂
出处
《电子工业专用设备》
1989年第4期49-50,共2页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
氟里昂
注入机
冷却设备
半导体
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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电子工业专用设备
1989年 第4期
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