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Surfscan系列片子表面质量检查仪器
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摘要
本文概述了美国TENCOR仪器公司近年来推出的Surfscan系列片子表面质量检查仪器,及其适用范围和主要技术特点。
作者
杨建忠
机构地区
机械电子工业部第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
1989年第4期38-42,50,共6页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
检查仪
表面质量
片子
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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电子工业专用设备
1989年 第4期
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