高纯气体输配管路系统污染的防治

通常讲的高纯气体不仅指气体中含较少的杂质气氛(纯度)和微量水份(干燥度),而且还应包括洁净度,即含污染物粒子的数量。近10年来,纯、净气体不仅仅局限在微电子行业中应用,而且也应用到其它像饮料,生物医学、化学精制。