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露点法测定电子级气体中痕量水
被引量:
1
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摘要
在高技术或超大规模集成电路的开发中,对电子级气体中痕量水含量的要求不断提高。从表1说明了这种趋势。
作者
尹恩华
机构地区
中国科学院半导体研究所
出处
《低温与特气》
CAS
1990年第1期47-52,共6页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
电子级气体
痕量水
露点法
测定
分类号
TN107 [电子电信—物理电子学]
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低温与特气
1990年 第1期
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