高纯金属有机化合物的发展动向与前景

一、引言金属有机化合物(简称MO)的研制是当今最有发展前途的技术之一,MO最吸引人的特点是它的多样性,其种类几乎是无限的,每一种都具有独特的化学性质。MO的开发是作为化学反应催化剂开始的,迄今,虽已有几十年的历史,但还只是开端。1968年,美国Rockwell公司的Manasevit采用烷基镓和砷烷,首次在绝缘衬底上,用MOCVD工艺成功地制备了GaAs单晶薄膜,这是一个重大突破。随后,20年来,特别是近10年来。