我国特种气体生产技术与国外的差距

论述了工业用标准气,环保气,大规模集成电路、光导纤维、非晶硅太阳电池制造用电子气,MOCVD的源材料—金属有机化合物,以及电子气配套器件国内科研、生产和制造的技术水平及其与国外的差距,指出配套器件技术水平与国外的差距比特种气体技术水平与国外的差距还要大,仅约相当于国外70年代中末期水平,而标准气约相当于国外80年代初中期水平,电子气则相当于国外80年代初期水平。特气生产技术关键是气体纯化技术及高纯或瞄蚀性气体包装技术等。为加速电子气国产化进程,提出了6项政策性措施。