氯化氢液相取样器

前言超大规模集成电路使用的高纯氯化氢,要求分析并控制其液相中N_2、O_2、H_2O、CO_2总烃及金属元素杂质的含量。氯化氢液体在常温下平衡压力为5.2MPa,1ml氯化氢液体气化,体积膨胀约700倍。它在大气中允许的最高浓度为5ppm,所以,为了对氯化氢液相取样,必须有相应的耐压、耐腐蚀。