砷烷的气相色谱分析

砷烷是半导体生产和科学研究中的重要原材科,不但可应用于半导体外延膜N型掺杂和扩散工艺,还可以应用于离子注入工艺。同时,它对于砷化镓薄膜的制备,也是很重要的材料。砷烷是一种剧毒的易燃无色气体,具有令人厌恶的类似大蒜的气味,是溶血性毒物。由于它有剧毒,且易燃。