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高纯氯气中痕量水的分析
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摘要
众所周知,由于氯对水的亲和力极强,测定氯中水含量是比较困难的,而测定氯中痕量水尤为困难。目前,尽管国际上各特种气体生产厂家的电子级氯气的技术指标不完全一致,但对含水量的要求都比较严格。最先进的技术指标是1987年美国半导体设备与材料学会(SEMI)公布的氯气纯度为99.9961%,其中,水含量小于3vpm。有关氯气中痕量水的分析方法。
作者
刘忠国
机构地区
化工部气体质量监测中心
出处
《低温与特气》
CAS
1990年第3期41-43,共3页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
氯气
痕量水
分析
高纯氯气
气体
分类号
TN107 [电子电信—物理电子学]
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低温与特气
1990年 第3期
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