高纯气体洁净度的控制标准被引量：3

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摘要微电子技术已成为当前世界上各项尖端技术和新兴产业发展的前导与基础,只有微电子技术的超前发展,才能更好地推动各生产部门的前进和提高其生产水平,也才有可能使我们的工业生产、科学技术跨入世界先进行列。众所周知,广播、通迅卫星、资源卫星、气象卫星,以及电子对抗系统、宇航系统和空间实验站等,都离不开高度可靠、

作者张洪雁

机构地区航空航天部第七设计研究院

出处《低温与特气》 CAS 1990年第3期15-18,共4页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词气体洁净度控制标准高纯气体

分类号 TN104.7 [电子电信—物理电子学]

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低温与特气

1990年第3期

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