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对高纯,洁净气体输送管道施工验收技术的探讨
被引量:
1
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摘要
前言微电子技术已成为当今世界各项尖端技术和新兴产业发展的前导与基础。有了微电子技术的超前发展,便能有效地推动其它部门前进。如各种卫星(广播通讯、农业、气象、资源、侦察、导航卫星等),空间实验站和星际间往返系统等。
作者
张洪雁
机构地区
航空航天部第七设计研究院
出处
《低温与特气》
CAS
1990年第4期13-18,共6页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
特种气体
输送
管道
验收
电子气
分类号
TQ117 [化学工程—无机化工]
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低温与特气
1990年 第4期
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