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氮系Ⅲ—Ⅴ族化合物—A1N
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摘要
AIN薄膜是一种高温绝缘膜和半导体器件的钝化膜,特别适用于超高频表面波器件,是有很大的应用潜力和发展前景的材料。本文主要介绍AIN薄膜的特性、制备方法和应用。
作者
张佐兰
机构地区
南京工学院
出处
《电子工艺技术》
1989年第1期18-23,61,共7页
Electronics Process Technology
关键词
AIN薄膜
高温
绝缘膜
氮系化合物
分类号
TM215.3 [一般工业技术—材料科学与工程]
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