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微加工薄膜变形镜本征模分析 被引量:6

Eigen mode of micromachined membrane deformable mirror
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摘要 介绍了变形镜本征模的构造过程及其特点,分析了从荷兰OKO公司购买的37单元微加工薄膜变形镜的本征模,并用前65阶Zernike多项式分析微加工薄膜变形镜的37阶本征模的特性。搭建了以微加工薄膜变形镜作为波前校正器、变形镜本征模为波前复原控制算法以及高分辨率Shack-Hartmann波前传感器为波前探测器的自适应光学实验系统。实验结果表明:变形镜本征模可以实现模式筛选,也可作为自适应光学系统的波前复原算法。 The construction process and characteristics of the deformable mirror eigen mode are presented. The eigen modes of 37-channel micro-machined membrane deformable mirror from OKO Ltd are listed and fitted with the former 65 order Zernike polynomial. An experiment setup system is established based on micromachined membrane deformable mirror as wavefront corrector, Shack-Hartmann wavefront sensor as wavefront detector and the eigen modes as wavefront control algorithm. The experiment results demonstrate that the eigen modes can both act as basic function which provides the possibility of keeping some modes while compensating other modes and the control algorithm in the adaptive optics system especially in the case of micromachined membrane deformable mirror as wavefront corrector.
出处 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1265-1270,共6页 High Power Laser and Particle Beams
基金 国家863计划项目资助课题
关键词 自适应光学 微加工薄膜变形镜 变形镜本征模 波前复原 Adaptive optics Micromachined membrane deformable mirror Deformable mirrors eigen modes Wavefront control
  • 相关文献

参考文献7

二级参考文献14

  • 1凌宁,官春林.变形反射镜的发展[J].光电工程,1995,22(1):14-22. 被引量:23
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  • 6姜文汉,光学学报,1988年,6卷,5期,441页
  • 7饶长辉,光学学报,1996年,16卷,12期
  • 8姜文汉,Opt Eng,1995年,34卷,1期,15页
  • 9姜文汉,光学学报,1988年,6卷,5期,441页
  • 10朱以文,有限元专用CAD系统ViziCad及其使用,1991年

共引文献43

同被引文献62

引证文献6

二级引证文献17

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