采用CMOS工艺的触觉传感器

台湾清华大学开发成功了几乎所有工序均采用CMOS工艺的触觉传感器。此次开发的传感器中，手触部分由带保护膜的金属薄膜构成，这层薄膜等下面的金属薄膜构成电容器。手触后，金属薄膜间的距离变小、电容器容量发生变化，通过这种变化实现触觉的感知。