同时具有质量分析的正负低能离子束沉积设备
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1凡丁.用离子束辅助沉积合成(Ti,Al)N薄膜[J].等离子体应用技术快报,1997(3):6-7.
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2汪雳.用离子束辅助沉积合成的氮化硅膜及其腐蚀性能[J].等离子体应用技术快报,1997(3):17-18.
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3朱宏,柳襄怀,任琮欣,陈国梁,邹世昌.单源低能离子束辅助沉积类金刚石薄膜结构及性能研究[J].金属学报,1995,31(3). 被引量:4
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4蒋小松.离子束沉积PdC_x纳米结构及其输运性能[J].微纳电子技术,2010,47(4):213-216.
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5伍建华,张官理,王旭迪,颜悦,望咏林,温培刚.低能离子束表面改性对聚碳酸酯(PC)润湿性能的影响[J].真空科学与技术学报,2008,28(4):370-373. 被引量:12
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6雍志华,林锡刚,刘玮,邓明.类金刚石膜的性能及应用研究[J].材料工程,1997,25(1):3-7. 被引量:1
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7曹冰,何晓雄,李合琴,顾金宝,赵之明,刘炳龙.新型工艺制备ZnO薄膜的结构与形貌研究[J].真空与低温,2007,13(2):81-84. 被引量:1
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8廖梅勇,秦复光,柴春林,刘志凯,杨少延,姚振钰,王占国.离子能量和沉积温度对离子束沉积碳膜表面形貌的影响[J].物理学报,2001,50(7):1324-1327. 被引量:2
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9蒋小松.离子束沉积PtC_x纳米结构及其输运性能研究[J].稀有金属与硬质合金,2010,38(3):22-25.
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10田中,李光志.离子束沉积的类金刚石碳膜的氢含量和键合结构[J].国外核聚变与等离子体应用,1992(5):65-69.
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