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激光加工技术的地位、现状和发展趋势(下) 被引量:1

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摘要 激光加工技术的地位、现状和发展趋势(下)中国航空信息中心徐庆仁九、激光微调技术及其应用随着微电子技术的日益飞速发展,电子元器件日趋小型化,精度要求也越来越高。例如,模/数转换集成电路上的电阻的一致性要求很高,而且每个电阻的宽度只有几十微米。传统的工艺...
作者 徐庆仁
出处 《航空制造工程》 1996年第10期16-17,21,共3页 Aviation Engineering & Maintenance
关键词 激光加工 综述
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