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化学气相沉积法制备碳化硅纤维
被引量：
9
The Preparation of CVD SiC Filament
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职称材料
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摘要
本文介绍了采用射频加热技术，通过化学气相沉积法制备连续碳化硅纤维。讨论了沉积温度、反应气体组分、流量及走丝速度等沉积参数对纤维性能的影响，并提出了可能的反应机理。
作者
郑敏
张蓬洲
机构地区
中科院山西煤炭化学研究所
出处
《宇航材料工艺》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第5期27-30,共4页
Aerospace Materials & Technology
关键词
射频加热
化学气相沉积
碳化硅纤维
分类号
TQ343.6 [化学工程—化纤工业]
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1996年 第5期
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