摘要
本文以美国ADI公司生产的±5g双轴模拟输出加速度计ADXL320为例,介绍了MEMS微加速度计的工作原理及其输出系数标定试验,并对其试验结果进行了数据处理和分析。
ADXL320 is a small, high precision, complete dual-axis accelerometer with signal conditioned voltage output, which can measures acceleration with a full-scale range of ±5g. The principle of the MEMS accelerometor and output coefficient calibrating testing on it are presented in this paper.
出处
《中国仪器仪表》
2006年第9期41-43,共3页
China Instrumentation
基金
国家自然科学基金项目(50475099)
关键词
微加速度计
标定实验
传感器
MEMS accelerometer Calibrating Transducer
