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激光图形描绘机

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摘要 激光图形描绘机FPS5100是制造先进电子封装领域使用的光掩膜量产设备。该设备可以快速完成作业,并易于制版厂商进行生产规划。该产品的产出效率达到每分钟12,000mm^2,此外,它的主写入网格精度达到0.4um。
出处 《集成电路应用》 2006年第10期54-54,共1页 Application of IC
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