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激光图形描绘机
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摘要
激光图形描绘机FPS5100是制造先进电子封装领域使用的光掩膜量产设备。该设备可以快速完成作业,并易于制版厂商进行生产规划。该产品的产出效率达到每分钟12,000mm^2,此外,它的主写入网格精度达到0.4um。
机构地区
Micronic Laser Systems AB
出处
《集成电路应用》
2006年第10期54-54,共1页
Application of IC
关键词
描绘
图形
激光
电子封装
生产规划
设备
掩膜
分类号
TN241 [电子电信—物理电子学]
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集成电路应用
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