高灵敏度、高温全息云纹光栅及其应用

本文简要介绍了高灵敏度，高温全息云纹光栅技术，主要包括旋转点光源激光全息干涉制栅系统，折射率介质超高频光栅制作技术，双镀层抗高温氧化制栅技术，耐高温光刻胶模板及转移技术，现场变形栅转移技术。在此基础上还给出了高灵敏度。