晶体取向对电弧蒸镀TiN涂层冲蚀磨损性能的影响

评定TiN涂层性能最常用的有硬度、色泽、结构、成份、点阵参数、内应力、电阻率、摩擦磨损和抗腐蚀性等方面,而对冲蚀磨损特性了解甚少,然而,TiN用作耐磨涂层的趋势得到充分肯定。此外在PVD与CVD的TiN涂层中一般都存在着择优取向,虽然目前已验明涂层的择优取向对摩擦性能有重大影响,但是已发表的有关晶体取向对磨损特性,特别是对冲蚀特性影响的文献相对很少。