用多通道传感器测量薄膜厚度

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摘要本发明提供一种用以分析薄膜特性的系统和方法。由于采用了具有多个探测通道的红外传感器和合适的滤光片，该系统能够瞬时探测干涉条纹的特征。该测量系统的工作步骤如下：

作者高

出处《红外》 CAS 2006年第10期48-48,共1页 Infrared

关键词红外传感器测量系统薄膜厚度多通道探测通道薄膜特性干涉条纹滤光片

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红外

2006年第10期

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