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美国MEAS传感器
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摘要
技术特点： ·将LVDT（线性可变差动变送器）商业化； ·实现硅微机械批量加工技术； ·将硅应变压力计制造工程中应用玻璃微熔创新技术； ·将Piezo Film（压电薄膜）技术转化为低成本商业化的传感器及生命特征传感器。
机构地区
精量电子（深圳）有限公司
出处
《软件》
2006年第9期65-65,共1页
Software
关键词
传感器
美国
加工技术
硅微机械
LVDT
创新技术
制造工程
生命特征
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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2006年 第9期
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