摘要
干磨可以造成工具表面的温度上升到800～1000℃．因此，能在如此高温度下为切削工具提供保护的膜层已成为研究的热点．ZrAlN由于Al元素的存在可能具有高温稳定的结构和机械性能．用直流磁控溅射的方法合成了ZrAlN薄膜．利用XRD与纳米压痕仪分析了反应气体分压和基底偏压对薄膜结构、机械性能及其高温热稳定性的影响．在最佳条件（基底偏压-37V，N2分压为2×10^-5Pa）制备的ZrAlN薄膜具有平滑的表面且其硬度具有热稳定性．在退火之后，该薄膜的应力由2．2GPa降至0．7GPa．薄膜的高温热稳定性可能与Al2O3和ZrO2晶相的形成有着直接的联系．
出处
《中国科学（E辑）》
CSCD
北大核心
2006年第9期969-974,共6页
Science in China(Series E)
基金
天津市应用基础重点项目(项目号:043801011)
国家自然科学基金(批准号:50472026)资助项目
