高精度波长调谐相移技术

对大口径的光学元件实现纳米级的高精度干涉检测是一项极具挑战性的工作。波长移相技术通过改变输出激光的波长来实现干涉信号的移相。相移步进量△φ波长变化量从及腔长（光程差）Z之间存在一个非线性关系△φ=4π／λ0^2△λZ，实验采用的Vortex6005激光器波长调谐精度不能够满足要求。研究中通过激光控制器的“Frequency Modulation”接口外加模拟调制信号，信号变化范围为5V，通过12位数／模卡驱动PZT，实现波长调谐精度优于1．84×10^-6nm，满足了测试需要。