阴极电弧离子沉积TiN／Ti镀层腐蚀特性

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摘要 TiN镀层作为耐磨镀层，半导体工业中的扩散阻挡层，电子装置镀层，射频超导阱结构中的反次级电子倍增效应镀层，装饰和耐腐蚀保护镀层，已经在各个领域中得到广泛的应用。TiN镀层由于有很稳定的化学性能，以及和各种钢基材有较好的结合强度，特别适合用于材料的防腐蚀保护镀层。

作者鲜晓斌王庆富刘天伟刘清和

出处《中国工程物理研究院科技年报》 2004年第1期411-412,共2页 Annual Report of China Academy of Engineering Physics

关键词耐磨镀层 TIN 腐蚀特性离子沉积阴极电弧防腐蚀保护扩散阻挡层半导体工业

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中国工程物理研究院科技年报

2004年第1期

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