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出处 《中国无线电》 2006年第8期59-60,共2页 China Radio
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参考文献1

二级参考文献4

  • 1McConnell D,Uma S.Thermal conductivity of doped polysilicon layers.Microelectromechanical Systems,2001,10(3):360
  • 2Jansen E, Obermeier E. Thermal conductivity measurementson thin films based on micromechanical devices.J Micromech Microeng,1996,6(3):118
  • 3Arx M,Paul O,Baltes H.Process dependent thin film thermal conductivitys for thermal CMOS MEMS.J Microelectromechanical Systems,2000,9(1):136
  • 4Kuang Y,Huang Q A,Lee N K S.Numerical simulation of a polysilicon thermal flexure actuator.Microsystem Technology,2002,8:17

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