激光刻蚀实现硅的近红外响应

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摘要美国科学家利用能提高硅电．池效率的微结构方法，拓宽硅光电探测器的光谱响应范围。这种微结构硅光电探测器的响应波长在1．31～1．55gm，可以用于许多特殊的图像领域。（Appl．Phys．Lett．89033506）

作者婷婷(编译)

出处《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2006年第10期15-16,共2页 Laser & Optoelectronics Progress

关键词激光刻蚀高硅近红外硅光电探测器美国科学家结构方法光谱响应微结构

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激光与光电子学进展

2006年第10期

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