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新型高精度激光干涉小角度测量仪的研究 被引量:4

A New Type High Precision Laser Interferometric Measuring Instrument for Micro-angle
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摘要 在分析小角度测量基本原理和特点的基础上,介绍了光波干涉小角度测量的方法和一种新型双参考镜激光干涉小角度测量仪的测角原理、功能特点及具体应用方法。 On the basis of analysing the fundamental principle and characteristic of micro-angle measurement, this paper presents the method of the optical interferometric measurement for micro-angle as well as the principle of angular measurement functional characteristic and application method of a new type of laser interferometric measuring instrument with double reference mirrors for micro-angle.
机构地区 天津大学
出处 《计量学报》 CSCD 1996年第2期89-91,共3页 Acta Metrologica Sinica
关键词 激光测量 角度测量 干涉仪 Laser Interference Measurement Reference mirror
  • 相关文献

参考文献3

  • 1范天泉,1994年全国几何量计量年会论文集,1994年
  • 2朱鸿锡,1994年全国几何量计量年会论文集,1994年
  • 3团体著者,角度计量,1984年

同被引文献24

引证文献4

二级引证文献15

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