TY—1型台阶测量仪
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1韩志国,李锁印,赵革艳,赵新宇.接触式台阶测量仪常见故障的调修[J].电子工业专用设备,2015,44(11):43-46. 被引量:2
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2白立芬,李庆祥,薛实福,于水.基于LVDT的台阶信号拾取方法研究[J].仪表技术与传感器,2000(7):37-38.
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3于水,白立芬,李庆祥,王云庆.十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验[J].实验技术与管理,2000,17(1):19-21. 被引量:1
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4白立芬,李庆祥,于水,薛实福.十字片簧弹性支承机构的设计[J].机械设计,2001,18(3):18-19.
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5王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英.触针对LSI生产中膜层台阶表面测量的影响[J].电子工业专用设备,1995,24(3):20-23.
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