摘要
文章论述了AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)在微波功率领域应用的优势,详细介绍了微波功率AlGaN/GaNHEMT的工艺进展以及器件的直流和频率特性,评述了其最新进展及今后发展方向。
Advantages of AlGaN/GaN high electron mobility transistor(HEMT) in the application of microwave power field are reviewed. The process of microwave power AlGaN/GaN HEMT and the effects of material and structure on the device performance are described in detail. Latest progress in this field is presented.
出处
《电子科技》
2006年第10期1-4,共4页
Electronic Science and Technology
基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)(2002CB3119)
国防科技重点实验室基金项目(51433040105DZ0102)
国防973计划项目(513270407)
国防科技重点实验室基金项目(51432030204DZ0101)资助研究。