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发展中的低温微电子技术
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摘要
低温微电子技术以其特殊的优点正日益受到重视,本文对其产生原因、现状、存在问题及发展方向作了综合性的评述。
机构地区
东南大学无锡分校
出处
《电子科技导报》
1996年第9期20-22,28,共4页
关键词
低温
微电子技术
半导体器件
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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