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微系统技术及其应用

MICROSYSTEM TECHNOLOGIES AND ITS APPLICATION
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摘要 本文介绍了微系统及其技术的一般含义,并对微系统的典型结构作了详细阐述,最后对其应用前景进行了简要分析。 the paper introduces in general the meaning of the microsystems and its technologies, summarizes a typical structure of the microsystems, and at last analyses the applications of the microsystems technologies; briefly.
出处 《微细加工技术》 1996年第3期1-5,共5页 Microfabrication Technology
关键词 微系统 微细加工 微驱动器 集成电路 microsystem technologies microfabricatiaton micro-sensor micro-actuator
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