微电子机械系统的测量

由于与生俱来的特性,微电子机械系统(microelectromechanical systems,简称MEMS)测试必须跨越电气与机械的分界线。MEMS设备总是既包含机械动作,又带有电气信号,因此在对这类设备的测试中两方面都要包括。