纳米光子学超细微加工系统研制成功

由中科院理化技术研究所承担的“纳米光子学超细微加工系统”项目8月通过中科院专家组验收。现场加工测试结果表明，该项目研制的纳米光子学超细微加工系统最小加工分辨率小于80hm，加工定位精度达到10nm，最大加工范围达到560μm，具备了良好的三维Diaz能力。目前这种可同时具有纳米尺度的加工分辨率和较大尺度范围的激光加工系统尚未见国内外的报道，具有创新性，在加工速度、范围及精度方面处于国际先进水平。